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第1404章 紫外光源光刻机[2/3页]

　　。

　　闻言，林清澜点点头，顺手拿起实验台上的文件夹：“李教授这是我这两天来整理的改造方案，你看看，如果可以的话我们就按照这样施行。”

　　“不用不用，对于光刻机技术来说，我就一个门外汉，您才是这方面的专家。”李学前摆手笑道：“您说怎么做，我们就怎么做。”

　　要说计算机材料学方面李学前是当仁不让的专家，可是他在光刻机制造方面了解的东西并不多。

　　在这方面林清澜才是专家中的专家。

　　“这样吧李教授，我简单的跟说一下您看看有没有什么改进的地方。”林清澜点点头，微笑着说道：“这一次我们主要改进的是光刻机的光波频率，以及光学镜片和对准系统等部位，在理想的情况之下，一旦改造成功，可以顺利的将这台红外光光刻机，改造成紫外光光刻机，其精度能够大大提升……”

　　红外光源，asml公司最初代的产品之一，但

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